潔淨服漢姆（mǔ）克滾筒試（shì）驗機

執行（háng）標準

IEST-RP-CC003.3

技術參數

控（kòng）製係統：PLC

操作界麵：彩色7寸觸摸屏，中英文（wén）切換；

國產（chǎn）粒子計數器：0.3um-0.5um，數量1套；

進口粒子計數器：美國進口，數量1套

滾筒尺寸：外尺寸430mm*330mm，內筒尺寸330mm*330mm；

轉速：10rpm；

試驗步驟

A將球磨機放在（zài）潔淨工作台上便於操作的位（wèi）置，潔淨室的潔淨度（dù）應不（bú）低於ISO5級將滾（gǔn）筒安裝（zhuāng）在球磨機上,潔淨室內氣流方向垂直於滾筒軸線

B讓球磨機運轉。用秒表檢查滾（gǔn）筒的轉速，將轉速調（diào）至10(士0.1)rpm，在數據（jù）表上記錄轉速。

注:有必要（yào）多測幾圈以保（bǎo）證本試驗要（yào）求轉速測量精度

C安裝空氣采樣管，從（cóng）滾筒（tǒng）內抽取空氣。采樣管應平行於旋轉軸線，采樣管和旋轉的壟條之間有（yǒu） 2.5 cm(1 in.)的空檔，采樣口距滾筒前端5cm。采樣口（kǒu）處在滾筒順（shùn）時針方向11點鍾的位置。目測檢查空（kōng）氣采（cǎi）樣管入口和滾筒內部的粒子沉積情況。注:空（kōng）氣采樣管入（rù）口應光滑無毛刺，以避免磨損被（bèi）試服（fú）裝（zhuāng）

D在潔淨室內靠近滾筒裝衣入口處，用（yòng）粒子計數器測量>0.3um的粒子濃度（dù），記為“潔淨室濃度”。用40cm(15.7in.)長的柔性導電塑料管將（jiāng）采樣管連接到粒子計（jì）數器上。使用導電采樣管，不鏽鋼采樣管應接（jiē）地。選（xuǎn）擇（zé）合適的管件（jiàn）以避免驟縮或驟擴。妥善安放計數器以（yǐ）避免采樣管上出現急彎。

E按ASTMF50的規定設置並操作粒子計數器

F在旋轉的滾筒內采（cǎi）樣測量顆粒物濃度。該濃度應（yīng）不偏（piān）離潔淨室內測背景濃度(按B2.5.5a測定的濃度)的10%。檢查背景濃（nóng）度時，使用技術器（qì）的小粒徑檔作為參（cān）照。注:若旋轉中的滾筒內粒子計數高出試驗在潔淨室粒子濃（nóng）度10%,則應在滾筒靜止時用過濾(孔徑（jìng） 0.45 um)後的（de）帶空氣或帶壓（yā）力的氮氣（qì）吹掃（sǎo）滾筒（tǒng）內表麵，吹走可分離的顆粒物。汙染嚴重時，可（kě）使用浸有少許去離子（zǐ）水或含9%異丙（bǐng）醇去離子（zǐ）水溶進行衝洗（xǐ），然後幹（gàn）燥.