气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪

根据压头上自动（dòng）连续增加（jiā）的垂直载荷，测定完全划透薄膜并使之从其基体上连续剥离需要的小载荷， 即薄膜–基体界面附着失效的临界（jiè）载荷 L C 。

测定（dìng） L C 的自（zì）动划痕试验机的结构原理如图1示。 该仪器由（yóu）下（xià）列主要部件组成： A—压头（tóu）连（lián）续加载电机； B—声发射探头， 探测划痕（hén）产生的声发射强度并输入微机； C—洛氏硬度计标准压头； D—试样台； E—位移电机（jī）， 用以匀速沿水平方向拖动试样台； F—切向摩（mó）擦力传感器， 连续检（jiǎn）测压头与薄膜之间的摩擦（cā）力并输入（rù）微机； G—试样台高度升降螺（luó）杆； H—加载压力传感器； I—光学显微镜（jìng）(≥40×)； J—信号放（fàng）大（dà）器； K—变换（huàn）控制器； L—微型计算（suàn）机嵌入式工业电脑， 用以实施测试自控和自动处理数据， 并动态显示及存贮数据（jù）与图形； M—试（shì）样； N—CRT 显示器； O—绘图打印机， 输出试验结果； P—压头加载机构； Q—主支架。

执行标准：JB/T 8554-1997

技术参（cān）数（shù）

控制系（xì）统：PLC+Windows系统

操作界（jiè）面：彩色触摸屏15寸，嵌入式工业电脑

样品尺寸：长方体： 长 40～50mm， 宽 30～45mm， 高 6～20mm； 或圆柱体 φ (40～45)mm×(6～20)mm；

样品要（yào）求：试样在温度(20± 5)℃和相对湿（shī）度(50±10)%RH的条件下至少放置 8 h， 然后按规定步骤测试只（zhī）需很少的测试次数即可评价划痕特性；

压头（tóu）规格：按 GB/T 2848 规定的条件选择金刚石压头(顶角 120°， 顶端（duān）半径 R 在 200 μ m± 5 μ m范（fàn）围内)， 在不小（xiǎo）于（yú） 40 倍的（de）显（xiǎn）微镜下检测压头， 确认其顶端是光滑洁净（jìng）的球面（miàn）， 方可（kě）使用。

划（huá）痕速度： (10± 1)mm/min可在触摸（mō）屏任意设置；

加载速率： 对（duì）硬质薄膜为(20～40)N/min；对非硬质薄膜为(5～10)N/min；极限压（yā）力100N

精度（dù）： 0.03 N；

电机：伺服电机86型+驱动器

运动模式（shì）：丝（sī）杆+导轨（guǐ），精度0.001mm；

光学（xué）显微镜（jìng）：50倍以（yǐ）上镜片配置；

曲线图：加载压力，恒定压力，摩擦力，垂（chuí）直载荷关系图，XY关系图；

测试高度范围：0-100mm；

测试（shì）模式：往复式运动，可单线运动，工业电脑触摸屏上设置；

运动范围：Y距离0-900mm，Y距离0-540mm

用电：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸约：1000mm*600*640mm；