氣相沉積薄膜與基（jī）體附（fù）著力劃痕試驗儀

根據壓頭上自動連續增加的垂（chuí）直載荷，測（cè）定（dìng）完全劃透薄膜並使之從其（qí）基體上連續剝離所需要的最小（xiǎo）載荷， 即薄膜–基（jī）體界麵附著失效的臨界載荷 L C 。

測定 L C 的自動（dòng）劃痕試驗機的結構原理如圖1所示。 該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續加（jiā）載電機； B—聲發射探頭， 探測劃痕產生的聲發射強度並輸入微機（jī）； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣台； E—位移電機（jī）， 用以（yǐ）勻速（sù）沿水平方向（xiàng）拖動試樣（yàng）台； F—切（qiē）向摩擦力傳感器， 連續檢測壓頭與薄膜之間的摩擦（cā）力並輸入（rù）微機； G—試樣台高度升降螺杆； H—加載壓力傳感器（qì）； I—光學顯微鏡(≥40×)； J—信號放（fàng）大器； K—變換控製器； L—微型計算機（嵌入式工業（yè）電腦（nǎo））， 用以實施測（cè）試（shì）自控和自動處理數據， 並動態顯示及存貯數據與圖形； M—試（shì）樣； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機， 輸出（chū）試驗結果； P—壓頭加載機構； Q—主支（zhī）架。

執行（háng）標準：JB/T 8554-1997

技術（shù）參數

控（kòng）製係統：PLC+Windows係統

操作界麵：彩色觸摸屏15寸，嵌入式工（gōng）業電腦

樣品尺寸：長方體： 長 40～50mm， 寬 30～45mm， 高 6～20mm； 或圓柱體 φ (40～45)mm×(6～20)mm；

樣品要求（qiú）：試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度（dù）(50±10)%RH的條件下至少（shǎo）放置 8 h， 然後按規定步驟測試隻（zhī）需很少的（de）測試次數即可評價劃痕（hén）特性（xìng）；

壓頭規格：按 GB/T 2848 規定的條件選（xuǎn）擇金（jīn）剛石（shí）壓頭(頂角 120°， 頂（dǐng）端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m範圍（wéi）內)， 在不小於（yú） 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭， 確（què）認其頂端是光滑潔淨的（de）球麵， 方可使用（yòng）。

劃痕速度： (10± 1)mm/min可（kě）在觸（chù）摸屏任意設置（zhì）；

加載速（sù）率： 對硬質薄膜為(20～40)N/min；對（duì）非硬質（zhì）薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;

精（jīng）度： 0.03 N；

電機：伺服電機86型+驅（qū）動器;

運動模式：絲杆（gǎn）+導軌，精度0.001mm；

光（guāng）學顯微鏡：50倍以上鏡片配置；

曲線圖：加（jiā）載壓（yā）力，恒定（dìng）壓力，摩（mó）擦力（lì），垂直載荷（hé）關係圖，XY關係圖；

測試高度範圍：0-100mm；

測試模式：往（wǎng）複式運動，可單線運動，工（gōng）業電腦（nǎo）觸摸屏上設置；

運動範圍：Y距離0-900mm，Y距離0-540mm;

用電：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸約：1000mm*600*640mm；